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金属薄膜和陶瓷厚膜传感器材质工艺稳定性怎么样?

发表时间:2021-06-23 18:12【

  金属薄膜和陶瓷厚膜传感器的区别

  

  金属薄膜传感器

  

  金属薄膜传感器的主体和膜片通常由不锈钢制成。通过在自动精密车床上加工隔膜,然后研磨、抛光和研磨,可以制造出所需的材料厚度。在隔膜的不与介质接触的一侧,绝缘层、应变仪、补偿电阻器和导电路径,通过化学(化学气相沉积)和物理(PVD)工艺的组合来施加,并且通过使用蚀刻的光刻来构造。

  

  这些过程是在洁净室和特殊工厂中进行的,有些部分是在真空或惰性气氛中进行的,从而可以生产出高原子纯度的结构。传感器上制作的电阻和导电路径明显小于微米,因此被称为薄膜电阻。

  

  由于使用的材料,金属薄膜传感器非常稳定。此外,它还能抵抗冲击和振动载荷以及动压元件。因为使用的材料是可焊接的,所以传感器可以焊接到压力连接-气密密封上,而不需要任何额外的密封材料。由于材料的延展性,传感器的超压范围相对较低,但爆破压力很高。

  

  陶瓷厚膜传感器

  

  陶瓷厚膜传感器的主体和膜片由陶瓷制成。氧化铝(Al2O3)因其稳定性和良好的加工性能而得到广泛应用。四个应变计通过丝网印刷工艺以厚膜膏的形式涂覆在隔膜不与压力介质接触的一侧,然后高温烧制,用保护涂层钝化。丝网印刷和老化过程中不允许有杂质。因此,制造通常在洁净室进行。只有领先的制造商才能以适当的隔离操作他们的工厂,以避免任何交叉污染,从而保持高工艺稳定性

  

  用于传感器的陶瓷非常耐腐蚀。然而,将传感器安装到压力测量仪器外壳中需要额外的压力连接密封,该密封不能抵抗所有介质。另外陶瓷比较脆,所以爆破压力比金属薄膜传感器低。

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